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        技術(shù)文章

        1200℃立式管式氣氛爐

        技術(shù)文章

        AFD系列立式管式氣氛爐的*設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護(hù)條件下對樣品快速升降溫,四面加熱,溫場更均勻,立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢,爐體垂直安裝在可移動支架上有利于爐管取放溫度的均勻性,可以預(yù)抽真空并能通氫氣、氬氣、氮?dú)?、氧氣、氧化碳、氨分解氣等氣體,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),特別適合薄膜生長、電測試、氧化物晶體生長、快速退火等實(shí)驗(yàn)需要!

        1200℃立式管式氣氛爐適用范圍:

         立式管式氣氛爐主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。

        1200℃立式管式氣氛爐技術(shù)參數(shù):

        產(chǎn)品名稱

        1200度立式管式氣氛爐

        產(chǎn)品型號

        AFD1200-50

        爐管尺寸

        Φ50×1000mm

        溫區(qū)長度

        440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制)


        恒溫區(qū)長
         

        200mm

        工作溫度

        1100℃(此溫度為加熱溫度)

        高溫度

        1200℃

        控溫方式

        智能化30段可編程控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示)

        控溫度

        ±1℃

        溫控保護(hù)

        具有超溫和斷偶保護(hù)功能

        加熱速率

        0~20℃/分

        加熱元件

        含鉬合金加熱絲

        工作電壓

        AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)

        大功率

        3KW

        爐膛材料

        采用多晶陶瓷纖維,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強(qiáng)

        法蘭接頭

        標(biāo)配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥。

        密封系統(tǒng)

        該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好、可12小時壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。

        真  空 度

        雙旋片機(jī)械泵:10^-2 torr
        分子泵機(jī)組:10^-5 torr


        供氣系統(tǒng)
         

        該爐配有浮子流量計(jì),客戶可通過浮子流量計(jì)或質(zhì)子流量計(jì)控制氣體的流速。


        爐管材質(zhì)
         

        氣煉石英管


        氣  密  性
         

        4.03×10-3Pa

        測溫元件

        K型熱電偶測溫

        凈       重

        70KG

        提供相關(guān)配件

        氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、爐塞


        電氣認(rèn)證
         

        CE認(rèn)證


        售后服務(wù)
         

        12個月質(zhì)保、終身保修

        聯(lián)


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